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全彩Micro LED重大突破:Plessey在同一片晶圆上生长出蓝绿光!

行家说Display · 2019-10-11
继开发出用于可穿戴AR/VR设备的2.5μm超高分辨率Micro LED后,近日,Plessey又曝出重大研究成果:基于氮化镓工艺,在同一片晶圆上实现了原生蓝光和绿光的生长。

继开发出用于可穿戴AR/VR设备的2.5μm超高分辨率Micro LED后,近日,Plessey又曝出重大研究成果:基于氮化镓工艺,在同一片晶圆上实现了原生蓝光和绿光的生长。

Micro LED的潜力业界周知,但在逐步实现消费显示应用之前,仍存在一些挑战。要形成RGB三色Micro LED,典型的方法就是通过拾取和放置去转移分散的R、G和B像素,或者只采用单色蓝光LED,后续再进行红绿光转换。

Plessey最新的专利生长方式,是在同一片晶圆上同时创建原生蓝光和绿光发射层。两种颜色集成的方式,大大简化显示屏的制造过程。其中,绿色Micro LED具有高效能和窄光谱宽度,当它与高效能的蓝色Micro LED一起使用时可产生出众的色域。并且,Plessey的这种全新制成方法,还提高了Micro LED的操作电流密度和使用寿命。

将原生蓝绿Micro LED集成在同一硅基板上,旨在解决从前全彩Micro LED制程中难以克服的挑战。例如有一种镁记忆效应,会从P型覆层的下结层扩散到上结层,从而阻碍多个波长LED的组合。

另一个重大挑战在于,要在第二结层的生长期间精确调整热预算,以防止蓝色活性区发生铟相分离。Plessey精确设计了热预算,以维持高效率(IQE)、低缺陷率和高电导率,满足高亮度显示应用的需求。

氮化镓Micro LED形成过程中的最后一步操作是生长后的处理,其目的是去除会影响p型层导电性的氢原子。第二结层的存在使得从隐藏的器件结构中去除氢原子变得复杂,从而抵消了标准生长后激活处理的效果。

而Plessey的单片集成蓝绿Micro LED工艺,成功地克服了上述挑战。该工艺集成了由亚微米层厚度垂直分隔的结层,并具备了可复制的高稳定二极管性能,远远超出了行业的普遍水准。

Plessey的外延和高级产品开发总监Wei Sin Tan博士表示:

“这一最新突破加倍放大了我们此前取得的成功,我们通过将自己最好的技术合成到单个圆片中,实现了高效率的单片原生蓝色阵列、原生绿色阵列以及背板的混合键合。”

“这项成果将产生巨大的影响,并将为更广泛的显示应用领域创新开启全新大门。对于移动和大型显示器,现在可以高效地将单个RGB面板用于质量传递和微型显示器,这为通往高难度的单个RGB超高分辨率Micro LED AR面板提供了一条途径。同时,这一新工艺为商业化、高性能的Micro LED显示铺平了道路,使得Micro LED显示技术大规模应用越来越接近现实。”

Plessey的最新成果再次提振了业界对Micro LED的信心,Micro LED也成为了下一代显示技术最有潜力的继任者。毕竟与现有的显示技术相比,Micro LED可以使显示屏尺寸更小,亮度更高,效率也更高。

最近一段时间,Plessey不断取得里程碑式的突破,给业界带来惊喜。其中包括:组合在有源矩阵CMOS背板上的,3000 ppi单片晶圆级键合的硅基氮化镓Micro LED,以及高效的原生绿色生长技术。Plessey表示:接下来还将持续加快Micro LED显示解决方案的开发,根据roadmap,到2020年,有望生产出完整的RGB Micro LED显示屏。

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